9096 基板位置错误

永远开心一笑2019-02-10 13:27:05

9096

基板位置错误




错误原因

1

自动运转开始时的基板位置不在上次自动运转结束完成时的基板位置上。

2

 检查轨道sensor感应器是否有异物。




检查和对策

1

按照画面的指示配置基板。   

2

 如果特意想拔出基板时请按“继续”,在再次发生错误的画面上按“无检查”。

3

不能配置时拔出所有的基板。

4

检查清除sensor感应器异物。 




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